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製品名稱 廠牌 型號 製程 英寸 製造年 備註
WATKINS JOHNSON WJ-999R DEPOSITION 6 リファブ装置
WATKINS JOHNSON WJ-1000T DEPOSITION 6,8 リファブ装置
SAMCO PD-3800L DEPOSITION 3 2010‐2012 2台 3イン...
TAIYO NIPPON SANSO BMC-301 DEPOSITION 3 2020 新古品
AMAT Centura Epi DEPOSITION 8 リファブ装置
ASM E2000 DEPOSITION 6 RP仕様
AMAT ENDURA DEPOSITION リファブ装置
ANELVA C-7730FH DEPOSITION 4 2003 アルミナ
ULVAC SIV-500 DEPOSITION 6 2016
ULVAC SRH-420MC DEPOSITION 6 裏面スパッタ
YAMATO V1000X ETCHER 4 部品取り機
KEM λ-200ZE ETCHER 8
PLASMA‐THERM Versaline ICP ETCHER 8 4"、6"、8"...
ULVAC CD-300R ETCHER 2~6 故障有
SEMITOOL SAT ETCHER 4~8 リファブ装置

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