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製品名稱 廠牌 型號 製程 英寸 製造年 備註
AMAT Centura DPS Poly ETCHER 6 2008
KEM λ-200ZE ETCHER 8
ULVAC CD-300R ETCHER 2~6 故障有
SHIBAURA CDE-80N ETCHER 6
SEMITOOL SAT ETCHER 4~8 リファブ装置
SEMITOOL SST ETCHER 4~8 リファブ装置
ULVAC NE-5500 ETCHER 3
VARIAN E-220 6 1995
VARIAN 160XP 6
VARIAN VIISion 200+ 8
ULVAC SOPHI-260 6 2008
VERSATILE ST270 CLEAN 4
NSD3000 CLEAN 4
SEMICON CREATED SCC-800A CLEAN 6 2019 未使用品
SEMICON CREATED SCC-800A CLEAN 6 2019 未使用品

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