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| 製品名稱 | 廠牌 | 型號 | 製程 | 英寸 | 製造年 | 備註 |
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SAMCO | PD-3800L | DEPOSITION | 3 | 2010‐2012 | |
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AMAT | Centura Epi | DEPOSITION | 8 | ||
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ULVAC | CERAUS Z-1000 | DEPOSITION | 5 | ||
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ULVAC | SIV-200 | DEPOSITION | 4 | 2014 | |
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ULVAC | SIV-500 | DEPOSITION | 6 | 2016 | |
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ULVAC | SRH-420MC | DEPOSITION | 6 | ||
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ULVAC | ei-5 | DEPOSITION | 角基板 | 2006 | |
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ULVAC | ei-5 | DEPOSITION | 角基板 | 2006 | |
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CANON | MAS8220 | ETCHER | 6、8 | ||
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YAMATO | V1000X | ETCHER | 4 | ||
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AMAT | P-5000 | ETCHER | 6 | ||
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TOK | TCA-7822S | ETCHER | 6 | 2008 | |
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TOK | TCE7822 | ETCHER | 8 | ||
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ULVAC | CD-300R | ETCHER | 2~6 | ||
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ULVAC | NE-950EX | ETCHER | 4 | 2014 |
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