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熱電対（TC）付ウェハー

工程	拡散
メーカー	PREMTEK

センサーは信頼性が高く、測定されるウエハーに直接配置されているため、

センサーが配置された正確な場所で実際の温度を提供できます。また、ウエハーの温度プロファイルを正確に測定し、

ランピングアップ、クーリングダウン、遅延期間などの過渡状態を含む完全な熱サイクルの温度変化を連続的に監視することができます。

アプリケーション

•　RTP　　　　　　　　　　　•　リフロー

•　オーブン　　　　　　　　　•　CVD

•　ホットプレート　　　　　　•　PVD

•　スパッタ　　　　　　　　　• その他のアプリケーション

認証

• ILAC/ANAB認証サービス

• ISO9001& ISO17025