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CD-SEM装置
- 再生装置
| 工程 | 検査 |
|---|---|
| メーカー | HITACHI |
| 型式 | S8000、S9000シリーズ |
サービス
■装置改造
中古装置リファービッシュ販売
小口径・化合物ウェハ対応改造
SMIF→オープンカセット改造
複数ウェハタイプ（トレイ使レイ使用）改造
■定期メンテナンス
チップ交換
■移設業務
構内移設
工場移設
■トラブル対応
仕様一覧
圧倒的なシェアを誇るCDSEM、日立S8000＆S9000シリーズ。装置は常時在庫保有、デモ体制完備しております。
納入した再生装置はアフターサービスも万全！ご安心の上ご導入いただけます。
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S8620 |
S8640 |
S8820 |
S8840 |
S9200 |
S9220 |
S9260 |
S9260A |
S9360 |
S9380 |
S9380II |
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4” |
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5” |
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6” |
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8” |
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12” |
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分解能 |
5nm |
5nm |
5nm |
5nm |
3nm |
3nm |
3nm |
3nm |
3nm |
2nm |
2nm |
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スループット
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24wph (5point) |
24wph (5point) |
24wph (5point) |
24wph (5point) |
45wph (5point) |
56wph (5point) |
65wph (5point) |
65wph (5point) |
55wph (5point) |
24wph (20point) |
33wph (25point) |
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