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CD-SEM装置

  • 再生装置
CD-SEM装置
分類 検査
メーカー HITACHI
型式 S8000、S9000シリーズ

サービス

 装置改造

   中古装置リファービッシュ販売

   小口径・化合物ウェハ対応改造

   SMIF→オープンカセット改造

   複数ウェハタイプ(トレイ使レイ使用)改造

 

  定期メンテナンス

   チップ交換

 

  移設業務

   構内移設

   工場移設

 

  トラブル対応

仕様一覧

圧倒的なシェアを誇るCDSEM、日立S8000S9000シリーズ。装置は常時在庫保有、デモ体制完備しております。

納入した再生装置はアフターサービスも万全!ご安心の上ご導入いただけます。

 

 

S8620

S8640

S8820

S8820

S9200

S9220

S9260

S9260A

S9360

S9380

S9380II

4”

 

 

 

5”

 

 

 

6”

 

 

 

8”

 

 

12”

 

 

 

 

 

 

 

 

分解能

5nm

5nm

5nm

5nm

3nm

3nm

3nm

3nm

3nm

2nm

2nm

スループット

 

24wph

(5point)

24wph

(5point)

24wph

(5point)

24wph

(5point)

45wph

(5point)

56wph

(5point)

65wph

(5point)

65wph

(5point)

55wph

(5point)

24wph

(5point)

33wph

(5point)

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