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i線ステッパー装置

i線ステッパーであるFPA3000シリーズは、標準的なシリコンウェハ量産機としての実績に加え、

化合物ウェハの特長である反りや重さに対する対応力が高く、その分野でも広く支持されています。

弊社では適正在庫の保持に尽力し、現像機・顕微鏡・CDSEMを備えたデモ環境を整えております。

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