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i線ステッパー装置

  • 再生装置
i線ステッパー装置
分類 フォトリソ
メーカー CANON/NIKON
型式 FPA3000シリーズ/NSR-i6~i14、SFシリーズ

装置概要

i線ステッパーであるFPA3000シリーズは、標準的なシリコンウェハ量産機としての実績に加え、

化合物ウェハの特長である反りや重さに対する対応力が高く、その分野でも広く支持されています。

 

弊社では適正在庫の保持に尽力し、現像機・顕微鏡・CDSEMを備えたデモ環境を整えております。

サービス

 ■装置改造

   中古装置リファービッシュ販売

   ウェハサイズ変

   レチクルサイズ変更

   レチクルチェンジャータイプ変更

   チャンバー冷媒改造

 

  部品販売

 

  部品修理

   基盤類修理

 

  ■定期メンテナンス

 

  移設業務

   構内移設

   工場移設

 

  トラブル対応

仕様一覧

  FPA3000iw FPA3000i4 FPA3000i5 FPA3000i5+
4”

 

5”

 

6”

8”

解像度

  0.8μm

  0.35μm

 0.35μm

 0.35μm

倍率

   1/2

   1/5

   1/5

   1/5

NA 0.24 0.45~0.63 0.45~0.63 0.45~0.63

 

 

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