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一括露光機

  • 再生装置
一括露光機
分類 フォトリソ
メーカー CANON
型式 MPA500、600シリーズ/PLA500、600シリーズ

装置概要

マスクを傷つけることなく一括露光が可能なミラープロジェクション露光機には根強い需要があります。

本機は、コンパクトなフットプリントと低い保守コストで、トランジスタやパワー半導体等、MEMSの生産に長年貢献してきました。

経年劣化による照度低下や解像度・均一性の劣化にも、ミラーの再生など独自の技術でチャレンジを続けています。

 

 

サービス

 ■装置改造

   中古装置リファービッシュ販売

   基盤サイズ変更

   チャンバー冷媒改造

   ミラー再生

 

  部品販売

 

  引取オーバーホール

 

  ■定期メンテナンス

 

  移設業務

   構内移設

   工場移設

 

  トラブル対応

仕様一覧

 

MPA600FA

MPA600Super

4”

5”

6”

変形

解像度

  1.5μm

  1.5μm

焦点

深度

±6μm以上

 ±6μm以上

TVNA  

 

更に、弊社グループ開発品の裏面露光ユニット(IRAS®)を搭載することで、裏面露光が可能になります。

もちろん、お客様保有のMPAへの後付けも可能です。

 

詳しくはコチラ

 

 

一括露光機

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