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一括露光機

マスクを傷つけることなく一括露光が可能なミラープロジェクション露光機には根強い需要があります。

本機は、コンパクトなフットプリントと低い保守コストで、トランジスタやパワー半導体等、MEMSの生産に長年貢献してきました。

経年劣化による照度低下や解像度・均一性の劣化にも、ミラーの再生など独自の技術でチャレンジを続けています。

　■装置改造

　　　中古装置リファービッシュ販売

　　　基盤サイズ変更

　　　チャンバー冷媒改造

　　　ミラー再生

　　■部品販売

　　■引取オーバーホール

　　■定期メンテナンス

　　■移設業務

　　　構内移設

　　　工場移設

　　■トラブル対応

更に、弊社グループ開発品の裏面露光ユニット（IRAS®）を搭載することで、裏面露光が可能になります。

もちろん、お客様保有のMPAへの後付けも可能です。

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