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Inception 枚葉式スピンプロセッサー

  • 新規装置
Inception 枚葉式スピンプロセッサー
分類 洗浄
メーカー RENA

R&Dからパイロット生産への移行に適切なInception

• 量産ベースとなるプロセス開発に安定したプロセスを実現

• 最短のプロセス開発を可能にする柔軟性の高いソフトウェア

• 標準仕様でタンク2基を搭載し多様なプロセスをサポート

• エッチングレート100/Secにおいても優秀なユニフォーミティ

• 搬送系はマニュアル・自動に対応

• スピンドライを用いた高速冷却エッチングでパーティクルを制御

化合物半導体アプリケーションにも最適

• 初期投資が抑えられる

• 省スペース

• 小ロット生産向け

• 酸とソルベントのプロセス

• スピンナーでは実現できない複合的搬送システム

• エッチングユニフォーミティーはバッチタイプを凌ぐ

• タンクは2~4基搭載可能

• 200mm ウェハまで対応

• 個別の薬液系統に対し可動式スプレーアームを2式まで搭載

• 純水とN2にそれぞれボトムスプレーノズルを準備

• 外部から機体後部に各種薬液を供給

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