在庫検索

Inception 枚葉式スピンプロセッサー

工程	洗浄
メーカー	RENA

•　量産ベースとなるプロセス開発に安定したプロセスを実現

•　最短のプロセス開発を可能にする柔軟性の高いソフトウェア

•　標準仕様でタンク2基を搭載し多様なプロセスをサポート

•　エッチングレート100Å/Secにおいても優秀なユニフォーミティ

•　搬送系はマニュアル・自動に対応

•　スピンドライを用いた高速冷却エッチングでパーティクルを制御

•　初期投資が抑えられる

•　省スペース

•　小ロット生産向け

•　酸とソルベントのプロセス

•　スピンナーでは実現できない複合的搬送システム

•　エッチングユニフォーミティーはバッチタイプを凌ぐ

•　タンクは２～4基搭載可能

•　200mm ウェハまで対応

•　個別の薬液系統に対し可動式スプレーアームを2式まで搭載

•　純水とN2にそれぞれボトムスプレーノズルを準備

•　外部から機体後部に各種薬液を供給

在庫検索一覧に戻る