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Revolution セミオートウェットプロセッサー
- 新規装置
| 工程 | 洗浄 |
|---|---|
| メーカー | RENA |
省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー
RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、
プロセスコントロールの操作性をアップさせました。
省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。
Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。
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省スペースな回転式ロボット • 2-5ポジション、2軸設計 • プロセスタンク複数搭載可 • 150～300mmウェハ対応 • タンクカバー（オプション • 圧力式または光学式タンクレベル モニタリング • 急速排水洗浄（オプション） |
その他 • エッチング、剥離、洗浄の多彩な アプリケーション • 分かりやすいレシピ構成 • 薬品添加、注入、充填オプション • 酸、溶解モデル • タンク5つまで搭載可 • マランゴニ乾燥組み込み可 |
専用ソフトIDX Flexwareで 歩留まりアップ • 高い柔軟性 • 高い自由度 • 正確性 • SECS/GEM準拠 • タッチスクリーンUI • 複数ロット・レシピ同時進行 |
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設計ポリシー ︓ 生産性 • 安全性 • 信頼性 • 高い自由度 • 低コスト • メンテナンスが容易
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