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Revolution セミオートウェットプロセッサー

  • 新規装置
Revolution セミオートウェットプロセッサー
分類 洗浄
メーカー RENA

省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー

RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、

プロセスコントロールの操作性をアップさせました。

省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。

Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。

 

省スペースな回転式ロボット

 2-5ポジション、2軸設計

 プロセスタンク複数搭載可

 150300mmウェハ対応

 タンクカバー(オプション)

 圧力式または光学式タンクレベル

  モニタリング

 急速排水洗浄(オプション)

 

その他

 エッチング、剥離、洗浄の多彩な

  アプリケーション

 分かりやすいレシピ構成

 薬品添加、注入、充填オプション

 酸、溶解モデル

 タンク5つまで搭載可

 マランゴニ乾燥組み込み可

 

専用ソフトIDX Flexware

歩留まりアップ

 高い柔軟性

 高い自由度

 正確性

 SECS/GEM準拠

 タッチスクリーンUI

 複数ロット・レシピ同時進行

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 設計ポリシー  生産性 • 安全性 • 信頼性 • 高い自由度 • 低コスト • メンテナンスが容易

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