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Advancer セミオートウェットプロセッサー
- 新規装置
| 工程 | 洗浄 |
|---|---|
| メーカー | RENA |
省スペースな がら精密なパフォーマンス
Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。
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生産性 低コストながら高いパフォーマンス • 前後側面マウントロボット • 大きな薬液容量 • 薬液投入、タンク内で混合 • 素早いリンス |
その他 最適なパフォーマンスのための各種モデル • 洗浄、エッチング、剥離など 多様なアプリケーション • タンク数1-6によって3種類 のプラットフォームをご用意 • 酸、ソルベントプロセス • ロボットはオプションで２機 まで搭載 • 4，5，6，8インチに対応 |
IDX Flexware • 柔軟性 • 拡張性 • 精密 • SECS/GEMS準拠 • タッチスクリーン |
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設計ポリシー ︓ 生産性 • 安全性 • 信頼性 • 高い自由度 • 低コスト • メンテナンスが容易
仕様
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Advancer Micro |
Advancer |
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Micro FA |
Micro RA |
Classic 150 |
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最大固定タンク数 |
Single 200mm |
Single 200mm |
Single 200mm |
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最大循環タンク数 |
N/A |
Single 150mm |
Single 150mm |
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同時ロット処理数 |
1 |
1 |
1 |
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排気 |
Back |
Top/Back |
Top |
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タンク蓋 |
No |
No |
Yes |
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ファルター再循環 |
No |
Yes |
Yes |
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メガ/超音波 |
No |
No |
Mega/Ultra |
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メンテナンスエリア |
Front |
Back |
Back |
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薬液供給方法 |
Manual |
Manual or Bulk |
Manual or Bulk |
|
薬液供給 |
No |
Yes (Process dependent) |
Yes (Process dependent) |
|
一般仕様 |
シェルタイプ︓シングルシェルに統合されに設計 シェル材料︓FM4910(Halar, CPVD, PVDF)、ポリプロピレン、ステンレス鋼より選択 |
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