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Advancer セミオートウェットプロセッサー

  • 新規装置
Advancer セミオートウェットプロセッサー
分類 洗浄
メーカー RENA

省スペースな がら精密なパフォーマンス

Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。

 

生産性

低コストながら高いパフォーマンス

• 前後側面マウントロボット

• 大きな薬液容量

• 薬液投入、タンク内で混合

• 素早いリンス

 

その他

最適なパフォーマンスのための各種モデル

• 洗浄、エッチング、剥離など

  多様なアプリケーション

• タンク数1-6によって3種類

  のプラットフォームをご用意

• 酸、ソルベントプロセス

• ロボットはオプションで2機

  まで搭載

• 4568インチに対応

 

IDX Flexware

• 柔軟性

• 拡張性

• 精密

• SECS/GEMS準拠

• タッチスクリーン

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 設計ポリシー 生産性安全性 信頼性高い自由度低コスト メンテナンスが容易

 

仕様

 

Advancer Micro

Advancer

 

Micro FA

Micro RA

Classic 150

最大固定タンク数

Single 200mm

Single 200mm

Single 200mm

最大循環タンク数

N/A

Single 150mm

Single 150mm

同時ロット処理数

1

1

1

排気

Back

Top/Back

Top

タンク蓋

No

No

Yes

ファルター再循環

No

Yes

Yes

メガ/超音波

No

No

Mega/Ultra

メンテナンスエリア

Front

Back

Back

薬液供給方法

Manual

Manual or Bulk

Manual or Bulk

薬液供給

No

Yes

(Process dependent)

Yes

(Process dependent)

一般仕様

  シェルタイプシングルシェルに統合されに設計

  シェル材料FM4910(Halar, CPVD, PVDF)、ポリプロピレン、ステンレス鋼より選択

 

 

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