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Solano ボックスクリーナー
- 新規装置
| 工程 | 洗浄 |
|---|---|
| メーカー | RENA |
FOUP、FOSBの洗浄
セミオートクリーナー
Solanoは標準的なすべてのタイプのFOUPとFOSBのパーティクルを除去するセミオートクリーナーです。
回転式カルーセルを搭載したHOT DIWスプレークリーニングが最適の洗浄結果をもたらします。
オプションで洗浄溶剤の界面活性剤もご用意しております。
高速の遠心力で乾燥する際に供給されるホットエアーは組み込まれたHEPAユニットを通しているため高品質です。
定期的な洗浄によりお客様の製品のパーティクルと金属汚染を削減させるのに効果的です。
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アプリケーション例 • 標準的なすべてのタイプの FOUPとの洗浄・乾燥
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機能 • 装置前面からの操作 • FOUP洗浄内のスイベルアーム • 使いやすいターンテーブルと インサートケージ • 12インチカラータッチパネルで PLC操作 • 豊富なデータ入力（温度、時間、 速度、パラメーターなど） • HEPAフィルターを通したエアー供給 • ファンユニットは速度可変 • 回転異常はセンサーで感知、 自動シャットダウン |
特長 • 組み立て式で搬入が容易 • 設置が早くすぐに使える • 確実・正確な洗浄・乾燥機能 • HEPAフィルターを通したHOTエアーで乾燥 • 一人のオペレーターが複数の装置を同時 に操作可能 • 移設・輸送しやすい形状 • 手ごろな価格帯
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仕様
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プロセス アプリケーション |
洗浄 乾燥 |
| ワーク | FOUP、FOSB |
| 処理数 | ターンテーブルあたり12個のFOUPまたはFOSB |
| 最大回転数 | 150 rpm |
| 筐体材質 | 白色PP、ステンレス枠 |
| タンク材質 | PVDF（ブースタータンクとHot DI供給） |
| 寸法 |
D︓2000 W︓1850 Ｈ︓2700mm 筐体を二分割すると高さは2250mm |
| 用力 |
電気 AC400V、50/60Hz、24kW、35A 温水供給 25 ℓ/分、60～70 °C 排気量800m³/h、500Pa CDA 6バール、N2 3バール、騒音レベル～65dbA |
| オプション |
FM4910準拠のハウジング 投入ポンプ付き洗剤タンク、容量約5L 乾燥用湿度センサー 追加パーツ（カセット、レティクルなど）のアダプターキット SECS II GEMインターフェース RFIDやバーコードの読み取り 裏面に2つ目のタッチパネルを搭載し、2ドア化を実現 イオン化ユニット 外部インラインヒーター 120kW |
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