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Solano ボックスクリーナー

  • 新規装置
Solano ボックスクリーナー
分類 洗浄
メーカー RENA

FOUP、FOSBの洗浄

セミオートクリーナー

Solanoは標準的なすべてのタイプのFOUPFOSBのパーティクルを除去するセミオートクリーナーです。

回転式カルーセルを搭載したHOT DIWスプレークリーニングが最適の洗浄結果をもたらします。

オプションで洗浄溶剤の界面活性剤もご用意しております。

高速の遠心力で乾燥する際に供給されるホットエアーは組み込まれたHEPAユニットを通しているため高品質です。

定期的な洗浄によりお客様の製品のパーティクルと金属汚染を削減させるのに効果的です。

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アプリケーション例

• 標準的なすべてのタイプの

   FOUPとの洗浄・乾燥

 

 

機能

• 装置前面からの操作

• FOUP洗浄内のスイベルアーム

• 使いやすいターンテーブルと

   インサートケージ

• 12インチカラータッチパネルで

   PLC操作

• 豊富なデータ入力(温度、時間、

   速度、パラメーターなど)

• HEPAフィルターを通したエアー供

• ファンユニットは速度可変

• 回転異常はセンサーで感知、

   自動シャットダウン

 

特長

• 組み立て式で搬入が容易

• 設置が早くすぐに使える

• 確実・正確な洗浄・乾燥機能

• HEPAフィルターを通したHOTエアーで乾燥

• 一人のオペレーターが複数の装置を同時

   に操作可能

• 移設・輸送しやすい形状

• 手ごろな価格帯

 

仕様

プロセス

アプリケーション

洗浄

乾燥

ワーク FOUP、FOSB
処理数 ターンテーブルあたり12個のFOUPまたはFOSB
最大回転数 150 rpm
筐体材質 白色PP、ステンレス枠
タンク材質 PVDF(ブースタータンクとHot DI供給)
寸法

D2000 W1850 2700mm

筐体を二分割すると高さは2250mm

用力

電気 AC400V50/60Hz24kW35A

温水供給 25 /分、6070 °C

排気量800m³/h500Pa

CDA 6バール、N2 3バール、騒音レベル~65dbA

オプション

FM4910準拠のハウジング

投入ポンプ付き洗剤タンク、容量約5L

乾燥用湿度センサー

追加パーツ(カセット、レティクルなど)のアダプターキット

SECS II GEMインターフェース

RFIDやバーコードの読み取り

裏面に2つ目のタッチパネルを搭載し、2ドア化を実現

イオン化ユニット

外部インラインヒーター 120kW

Solano ボックスクリーナー

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