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Compass スピンリンサードライヤー

  • 新規装置
Compass スピンリンサードライヤー
工程 洗浄
メーカー RENA

古い装置で、思うようにいかなかったら、新しい装置に変えましょう!

RENA NAは現在の技術で新しいSRDを作りました。

SRDは最先端の開発が進む装置業界で、取り残された存在でした。

RENACOMPASSはそれを見事に覆しました。

何十年も放置されてきたSRDの弱点に注目し、SRDをより使いやすいものに

したのがRENACOMPASSです。

 

実績豊富なIDXソフトウェアを掲載したCOMPASSは工場の自動化にSRD

組み入れました。

なぜ、30年昔の装置をRENAは作るのか︖

答えは簡単です。どの工場にも「型遅れの」SRDが、いまだにどこかにあるからです。

プロセス装置には何億も投資する工場が、同じウェハーを古いSRD投入しています。

 

だましだまし使ってストレスを溜めるより、COMPASS

に入れ替えませんか

Compass スピンリンサードライヤー

より高い革新と品質を求めて

N2使用量

プロセス中かどうかに関わらずSRDは日夜N2を流しています。

COMPASSではプロセスに関係しない機能にCDAを使用することにより、アイドルタイムのN2の使用量を半分に削減します。

画期的な密封設計の採用が効果をより高めます。

結果として、チャンバーあたり年間300万リットルのN2削減となります

 

ホストコミュニケーション

SRDにおいてはホストコミュニケーションとプロセスコントロールは無視され続けてきました。

ログインは最小限で、レシピ設定も簡単ではありませでした。

過去のSRDでは、業界では常識である温度制御すらありませんでした。

COMPASSではIDXソフトウェアを採用することにより、複数のレシピ設定やより細かいログイン、

プロセスコントロールを可能にしました。ホストコミュニケーションの機能も加え、COMPASSは新しいSRD標準となりました。

 

ウェハーダメージを防止

時代に合ったSRDを設計するのに注目したのは、微細で壊れやすい多様なウェハーを理解することでした。

まず、振動を抑えることは必須です。

COMPASSは防振モーターシステムを始め、電気・メカ・ソフトすべてにおいて、振動を抑え、かつ最適の結果が得られるように設計されています。

シミュレーションソフトを用い設計されたローターは、既存のどれよりも強く、安全で低振動となっています。

 

より良いSRDのために

RENAは業界ナンバーワンのSRDを作るだけでは決して満足しません。

よりクリーンで、安全で効率的なCOMPASSにするための努力を日夜続けていきます。

 

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オプション                  機能と特長

• ホストコミュニケーション           • 低いラニングコスト

• シグナルタワー                • 優れたパフォーマンス

• 自動ドア                   • プロセスコントロールとモニタリング

• 湿度センサー                 • N2削減

• ケミカルインジェクト             • パーティクルコントロール

• キャリアデザイン               • 短納期

• DIWN2のファシリティボックス                      • 画面が見やすく直観的操作

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