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Compass スピンリンサードライヤー

  • 新規装置
Compass スピンリンサードライヤー
分類 洗浄
メーカー RENA

古い装置で、思うようにいかな かったら、新しい装置に変えましょう!

RENA NAは現在の技術で新しいSRDを作りました。

SRDは最先端の開発が進む装置業界で、取り残された存在でした。

RENACOMPASSはそれを見事に覆しました。

何十年も放置されてきたSRDの弱点に注目し、SRDをより使いやすいものに

したのがRENACOMPASSです。

 

実績豊富なIDXソフトウェアを掲載したCOMPASSは工場の自動化にSRD

組み入れました。

なぜ、30年昔の装置をRENAは作るのか︖

答えは簡単です。どの工場にも「型遅れの」SRDが、いまだにどこかにあるからです。

プロセス装置には何億も投資する工場が、同じウェハーを古いSRD投入しています。

 

だましだまし使ってストレスを溜めるより、COMPASS

に入れ替えませんか

Compass スピンリンサードライヤー

より高い革新と品質を求めて

N2使用量

プロセス中かどうかに関わらずSRDは日夜N2を流して

います。

COMPASSではプロセスに関係しない機能にCDAを使用

することにより、アイドルタイムのN2の使用量を半分

に削減します。

画期的な密封設計の採用が効果をより高めます。

結果として、チャンバーあたり年間300万リットルの

N2削減となります

 

ホストコミュニケーション

SRDにおいてはホストコミュニケーションとプロセス

コントロールは無視され続けてきました。

ログインは最小限で、レシピ設定も簡単ではありませ

でした。過去のSRDでは、業界では常識である温度

制御すらありませんでした。

COMPASSではIDXソフトウェアを採用することによ

り、複数のレシピ設定やより細かいログイン、プロセ

スコントロールを可能にしました。ホストコミュニ

ケーションの機能も加え、COMPASSは新しいSRD

標準となりました。

ウェハーダメージを防止

時代に合ったSRDを設計するのに注目したのは、微細

で壊れやすい多様なウェハーを理解することでした。

まず、振動を抑えることは必須です。

COMPASSは防振モーターシステムを始め、電気・メ

カ・ソフトすべてにおいて、振動を抑え、かつ最適の

結果が得られるように設計されています。

シミュレーションソフトを用い設計されたローター

は、既存のどれよりも強く、安全で低振動となってい

ます。

より良いSRDのために

RENAは業界ナンバーワンのSRDを作るだけでは決して

満足しません。

よりクリーンで、安全で効率的なCOMPASSにするため

の努力を日夜続けていきます。

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オプション

• ホストコミュニケーション

• シグナルタワー

• 自動ドア

• 湿度センサー

• ケミカルインジェクト

• キャリアデザイン

• DIWN2のファシリティボックス

 

機能と特長

• 低いラニングコスト

• 優れたパフォーマンス

• プロセスコントロールとモニタリング

• N2削減

• パーティクルコントロール

• 短納期

• 画面が見やすく直観的操作

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